Trong trường hợp in thạch bản bán dẫn (còn gọi là quang khắc), đá của chúng ta là tấmsiliconvà các mẫu của chúng ta được viết bằng một loại polyme nhạy sáng gọi là photoresist.
Bạn có nghĩa là gì về kỹ thuật in quang?
Photolithography, còn được gọi làquang khắc hoặc in thạch bản UV, là một quá trình được sử dụng trong chế tạo vi mô để tạo khuôn mẫu cho các bộ phận trên một màng mỏng hoặc phần lớn của chất nền (còn được gọi là tấm wafer). … Phương pháp này có thể tạo ra các mẫu cực nhỏ, có kích thước xuống tới vài chục nanomet.
Tại sao in thạch bản được sử dụng trong sản xuất chất bán dẫn?
Photolithography là một quy trình được sử dụng trong vi chế tạođể chuyển các mẫu hình học sang phim hoặc chất nền. Các hình dạng và mô hình hình học trên một chất bán dẫn tạo nên các cấu trúc phức tạp cho phép các chất pha tạp, đặc tính điện và dây dẫn hoàn thành một mạch và thực hiện mục đích công nghệ.
Mục đích của photolithography là gì?
Photolithography là một trong những phương pháp chế tạo vi mô quan trọng nhất và dễ dàng nhất, và đượcsử dụng để tạo ra các mẫu chi tiết trong vật liệu. Trong phương pháp này, một hình dạng hoặc hoa văn có thể được khắc thông qua sự tiếp xúc có chọn lọc của một polyme nhạy sáng với ánh sáng cực tím.
Thiết bị in thạch bản bán dẫn là gì?
Thiết bị in thạch bản bán dẫnđược sử dụng trong giai đoạn phơi sáng của chip bán dẫnquy trình sản xuất. … Thiết bị in thạch bản bán dẫn sử dụng thấu kính chiếu để giảm hình dạng mạch, được viết trên một tấm gốc được gọi là kẻ ô và để lộ hình lên một tấm wafer.
