Photolithography là một quy trình được sử dụngtrong vi chế để chuyển các mẫu hình học sang phim hoặc chất nền. Các hình dạng và mô hình hình học trên một chất bán dẫn tạo nên các cấu trúc phức tạp cho phép các chất pha tạp, đặc tính điện và dây dẫn hoàn thành một mạch và thực hiện mục đích công nghệ.
Quy trình photolithography là gì?
Photolithography, còn được gọi là quang khắc hoặc in thạch bản UV, làmột quy trình được sử dụng trong chế tạo vi mô để tạo khuôn mẫu cho các bộ phận trên màng mỏng hoặc phần lớn của chất nền (còn được gọi là tấm wafer). … Trong các mạch tích hợp phức tạp, một tấm wafer CMOS có thể trải qua chu kỳ quang điện tử tới 50 lần.
Quy trình đúc vi mô là gì?
Chế tạo vi mô là quy trìnhchế tạo các cấu trúc thu nhỏ có quy mô siêu nhỏ vànhỏ hơn. … Các khái niệm và nguyên tắc chính của chế tạo vi mô là vi khắc, pha tạp, màng mỏng, khắc, liên kết và đánh bóng.
Quá trình in thạch bản trong chất bán dẫn là gì?
Hệ thống in thạch bản bán dẫn thực hiện quy trình, theo đó các mẫu mạch rất phức tạp được vẽ trên bình quang làm bằng tấm thủy tinh lớn được giảm bớt bằng cách sử dụng thấu kính hiệu suất cực cao và tiếp xúc với chất nền silicon được gọi làmột tấm wafer. …
In thạch bản trong quá trình chế tạo là gì?
Thuật in thạch bản là quá trình chuyển các mẫu hình dạng hình học trong mặt nạ sang một lớp mỏng của vật liệu nhạy cảm với bức xạ(gọi là điện trở) phủ lên bề mặt của tấm bán dẫn. Hình 5.1 minh họa một cách sơ đồ quy trình in thạch bản được sử dụng trong chế tạo vi mạch.
