Photolithography được sử dụng phổ biếnđể sản xuất chip máy tính. Khi sản xuất chip máy tính, vật liệu nền là một tấm silicon chống được bao phủ. Quá trình này cho phép hàng trăm con chip được chế tạo đồng thời trên một tấm silicon duy nhất.
Quang khắc được thực hiện như thế nào?
Photolithography sử dụng ba bước quy trình cơ bản để chuyển một mẫu từ mặt nạ sang tấm wafer:phủ, phát triển, phơi sáng. Mẫu được chuyển vào lớp bề mặt của tấm wafer trong quá trình tiếp theo. Trong một số trường hợp, mô hình điện trở cũng có thể được sử dụng để xác định mô hình cho một màng mỏng lắng đọng.
Tại sao nó được gọi là photolithography?
In thạch bản bán dẫn (Photolithography) - Quy trình cơ bản . Việc chế tạo mạch tích hợp (IC) đòi hỏi nhiều quy trình vật lý và hóa học được thực hiện trên chất nền bán dẫn (ví dụ: silicon). … Từ thạch bản xuất phát từ tiếng Hy Lạp lithos, có nghĩa là đá, và graphia, nghĩa là viết.
Tại sao kỹ thuật in thạch bản lại quan trọng?
Lithography làquá trình chuyển các mẫu hình dạng hình học trong mặt nạ sang một lớp mỏng của vật liệu nhạy cảm với bức xạ(gọi là điện trở) phủ lên bề mặt của tấm bán dẫn. Hình 5.1 minh họa một cách sơ đồ quy trình in thạch bản được sử dụng trong chế tạo vi mạch.
Phương pháp nào được sử dụng rộng rãi nhất trong các phương pháp in thạch bản?
Quangin thạch bảnlà một kỹ thuật dựa trên photon bao gồm việc chiếu một hình ảnh vào một nhũ tương cảm quang (photoresist) được phủ lên một chất nền như tấm silicon. Đây là quy trình in thạch bản được sử dụng rộng rãi nhất trong ngành công nghiệp bán dẫn sản xuất khối lượng lớn điện tử nano.
