Trong phún xạ Magnetron không cân bằng,plasma cũng được kéo lên chất nền, và các ion argon cũng bắn phá màng mỏng đang phát triển. … Sự hiện diện của các điện tử xung quanh chất nền dẫn đến sự ion hóa các nguyên tử khí trung hòa và sự xâm nhập của plasma vào vùng này.
Tại sao nam châm lại phát ra tiếng kêu?
phún xạ Magnetron sử dụngmột từ trường khép kín để bẫy các điện tử, tăng hiệu quả của quá trình ion hóa ban đầu và tạo ra plasma ở áp suất thấp hơn, giảm sự kết hợp khí nền trong quá trình phát triển màng và tổn thất năng lượng trong nguyên tử bị văng ra do va chạm khí.
Điều gì có thể áp dụng cho phún xạ magnetron?
5 lắng đọng phún xạ Magnetron. Magnetron phún xạ là một kỹ thuật phủ chân không tốc độ cao cho phép lắng đọng nhiều loại vật liệu, bao gồm cả kim loạivà gốm sứ, lên nhiều loại vật liệu nền bằng cách sử dụng một từ tính đặc biệt trường áp dụng cho mục tiêu phún xạ diode.
phún xạ magnetron không cân bằng trường đóng là gì?
Hệ thống mạ ion Magnetron Sputter trường kín không cân bằng, được phát triển bởi Teer Coatings Ltd, tạo ra các điều kiện lắng đọng được tối ưu hóacho phép lắng đọng các lớp phủ dày đặc, cứng với độ bám dính tuyệt vời. Thỏa thuận CFUBMSIP được bao gồm bởi các bằng sáng chế được cấp cho Teer Coatings Ltd.
Nam châm không cân bằng là gì?
Magnetron thường được phân loại là "cân bằng" hoặc "không cân bằng". …Nếu điểm rỗng gần bề mặt mục tiêu, các electron có thể thoát ra dễ dàng hơnvà magnetron không cân bằng. Thiết kế không cân bằng có thể tạo ra sự bắn phá ion cao vào màng mỏng đồng thời với quá trình lắng đọng.
